HEPA過濾器應用
高效過濾器主要用於捕集0.5μm以上的顆粒灰塵及各種懸浮物。通常採用超細玻璃纖維紙作濾料，膠版紙、鋁膜等材料作分割板，與木框鋁合金膠合而成。隨著材料新材料、新技術的發展，高效過濾器從原來的主要採用玻纖作為過濾材料，逐步發展到使用PTFE、納米膜材料、複合材料等新型材料。
高效過濾器具有過濾效率高、阻力低、容塵量大等特點，可廣泛用於光學電子、LCD液晶製造，生物醫藥、精密儀器、飲料食品， PCB印刷等行業無塵淨化車間的空調末端送風處。
HEPA 過濾器測試方法
高效過濾器檢測方法，歷經鈉焰法、油霧法、DOP法、熒光法和粒子計數法。鈉焰法檢測靈敏度低，無法對超高效過濾器進行檢測。油霧法在檢測時容易造成過濾器損傷，且不能直接讀值，測試週期長。 DOP法，因DOP對人體有害被歸為有害物質，而限制使用。熒光法目前只在核工業系統現場檢測過濾器時偶爾使用。粒子計數法成為HEPA過濾器、ULPA過濾器測試的主流方法。
與油霧法、DOP法相比，被當做測試介質的氣溶膠的粒徑也是不同的。前兩種方法，測試的是0.3μm處的結果，而粒子計數法要測試最易穿透粒徑MPPS處的測試結果，測試要求更高，結果更準確。
HEPA 過濾器測試標準
現行的行業內比較受認可的標準有EN 1822 High efficiency air filters (EPA, HEPA and ULPA)和ISO 29463 High-efficiency filters and filter media for removing particles in air。
HEPA過濾器分級
高效過濾器分級需要依據整體效率和局部效率測試結果。 EN 1822和ISO對過濾器的分級略有不同，具體參見下表。
EN 1822 | ISO 29463 | Overall efficiency | Local efficiency |
E10 | - | ≥ 85% | —— |
E11 | ISO 15 E | ≥ 95% | —— |
ISO 20 E | ≥ 99% | —— | |
E12 | ISO 25 E | ≥ 99.5% | — |
ISO 30 E | ≥ 99.90% | —— | |
H13 | ISO 35 H | ≥99.95% | ≥99.75% |
ISO 40 H | ≥99.99% | ≥99.95% | |
H14 | ISO 45 H | ≥99.995% | ≥99.975% |
ISO 50 U | ≥99.999% | ≥99.995% | |
U15 | ISO 55 U | ≥99.9995% | ≥99.9975% |
ISO 60 U | ≥99.9999% | ≥99.9995% | |
U16 | ISO 65 U | ≥99.99995% | ≥99.99975% |
ISO 70U | ≥99.99999% | ≥99.9999% | |
U17 | ISO 75 U | ≥99.999995% | ≥99.9999% |
HEPA過濾器性能測試
除了整體效率和局部效率外，H13等級以上的過濾器需要逐個進行掃描檢漏。根據過濾器使用的過濾材料的不同，以及過濾器使用場景的不同，要求HEPA過濾器和ULPA過濾器測試時要有多種氣溶膠可供選擇，這就對氣溶膠發生器提出了要求。比如通常情況下使用DEHS氣溶膠，當過濾材料為PTFE時或是過濾器的使用場景為半導體車間等，需要使用PSL小球固體氣溶膠才能滿足測試需求。
HEPA過濾器測試設備
高效過濾器的測試設備，目前市場上認可度最高的是德國TOPAS 的AFS 150 Automated HEPA/ULPA Filter Scanning Test System and AFS 152 Manual HEPA/ULPA Filter Scanning Test System. 其他的國家因相應的產業鏈不完整，很難製造出可以與之抗衡的測試設備。但是經過數十年的高速發展，中國在這方面形成了完整的產業鏈，從測試台的外殼鈑金加工，到核心部件發生器、計數器，再到測試動作控制的硬件和軟件等。依托這些技術，世塵科技具備了製造過濾器測試設備的能力。並經過多年的發展，與客戶不斷地溝通交流，進一步完善產品。如今，我們的過濾器測試設備和材料測試設備在意大利、美國、韓國、泰國、印度、俄羅斯等30多個國家和地區為全世界的客戶提供服務。
